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NIST SRM 2000 高分辨率 X 射線衍射（標(biāo)準(zhǔn)品） 為高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD) 社區(qū)提供了國際單位制 (SI) [1] 可追溯的 Si (220) 透射間距,、表面到晶面晶片我們的參考波長在反射中的誤切和表面到硅 (004) 布拉格角,。 SRM 2000 的一個單元由 25 mm × 25 mm × 0.725 mm 雙拋光 (100) 取向的單晶硅樣品組成,，具有標(biāo)稱 50 nm Si0.85Ge0.15 外延層和 25 nm 硅帽。

這些認(rèn)證值可用于校準(zhǔn) HRXRD 儀器,。

認(rèn)證到期：

SRM 2000 的認(rèn)證在規(guī)定的不確定性范圍內(nèi)無限期有效,，前提是按照本證書中給出的說明處理和儲存 SRM（參見“處理、儲存和使用說明”）,。因此,，不需要定期重新校準(zhǔn)或重新認(rèn)證此 SRM。如果 SRM 損壞,、污染或以其他方式修改,，則認(rèn)證無效。

SRM 認(rèn)證的維護(hù)：

NIST 將在其認(rèn)證期間監(jiān)控此 SRM,。如果發(fā)生影響認(rèn)證的實(shí)質(zhì)性技術(shù)變化,，NIST 將通知購買者。注冊（見附表）將有助于此通知,。